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測(cè)量范圍

0-407mm

0-1023mm

0-1110mm

應(yīng)用范圍

0-719mm

0-711mm

0-1422mm

分辨率

0.001mm

0.001mm

0.001mm

最大允許誤差

[2.5+L(mm)/300]μm

[2.5+L(mm)/300]μm

[2.5+L(mm)/300]μm

重復(fù)性(2S)

2μm

2μm

2μm

垂直度(正向)允許誤差

5μm

8μm

11μm

操作時(shí)間

20h

20h

20h

氣浮功能

有

有

有

測(cè)力調(diào)節(jié)范圍

0.75-1.5N

0.75-1.5N

0.75-1.5N

測(cè)頭移動(dòng)速度

1m/s

1m/s

1m/s

凈重

21kg

24kg

33kg

數(shù)據(jù)輸出

USB/RS232

USB/RS232

USB/RS232