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產(chǎn)品詳細介紹特點：

*分辨率為0.1/0.5μm時，精度可高達(1.3+0.6L/600)μm；

*確保垂直度（前部）達6μm，直線度達4μm；

*全/半空氣浮動系統(tǒng)可調(diào)節(jié)氣墊；

*GO/NO-GO LED顯示.

*帶有基本統(tǒng)計功能，另外，通過RS-232C數(shù)據(jù)輸出與帶有SPC軟件的電腦相連，可實現(xiàn)外部測量數(shù)據(jù)評估；

*大容量數(shù)據(jù)存儲，可儲存50個測量程序和60000個測量結(jié)果